中国台湾日扬APC蝶阀使用浅析

中国台湾日扬apc蝶阀使用浅析
中国台湾日扬（htc）自动压力控制apc蝶阀，是整合真空腔体压强反馈与马达控制技术的真空阀门，可以快速调节真空腔体制程压力，*隔绝真空侧和大气侧，apc蝶阀具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等特点，搭配htc的apc软件，可以简单快速地设定并监控制程压力。
apc蝶阀，广泛应用于半导体、光电产业、太阳能产业、cvd制程等行业，安装在真空泵组与真空制程腔室之间，通过真空计反馈的电压值控制蝶阀密封板开度大小，从而达到调节腔室压力的目的。
本次实际使用的蝶阀型号是iso63bfvc/rs485，通过自带的软件，可以进行如下功能的设定：阀门位置、真空压力、目标压力、jog+、open全开、close全闭、jog-、hold（马达锁定，所有命令无效）等。
真空计的设定，重新设定压力范围（例如讲0.1torr改为1torr）后，要关掉软件，再重新打开软件，更改设定才会有效。对应真空计0-10v的设定压力值，具有线性特性。
马达的pid调节，将i=0.1，d=0，调整p参数有1增加到马达有震动之后将该值除以2，则为p之设定值。
使用rs485接口时，两次讯息之间必须间隔7个字节以上的时间。
整个过程，调试方便顺利，控制精度高、反应迅速，整个工况让客户非常满意！
深圳市科锐诗汀科技有限公司，集中国台湾日扬（htc）真空阀门、真空腔体、真空管件、英福康（inficon）真空计、检漏仪、晶振片、安捷伦（agilent）真空泵于一体的真空系列产品提供商，竭诚为真空行业提供高质量的产品和服务！
作者：深圳市科锐诗汀科技有限公司销售部
备注：以上文章内容为相关说明书节选


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